將被干燥物放入密閉容器中排出空氣并降低壓力干燥方法稱為真空干燥法，這種機器稱為真空干燥機；與使用一般溫暖空氣干燥相比，真空干燥機可以使物體干燥快三倍。
真空干燥機的干燥是在封閉的容器中完成的，因此它不受太陽或熱空氣提供的熱量的影響，如暖風干燥。該方法需要某種類型的加熱，以防止伴隨水分蒸發的干燥物體的溫度下降。為了防止干燥物體的溫度下降，在將物體放入容器之前提高溫度；加熱整個容器以利用輻射熱來加熱干燥物體；用容器中的加熱板傳導熱量加熱干燥物體。
真空干燥機迫使窄間隙和管內的壓力降低，這使間隙中的水分蒸發得更快。另外，除非烘干物體內部的溫度過度下降，否則由于碰撞現象而滯留在狹窄間隙中的水分可能會吹出，這進一步加速了干燥。因此，使用容積足以排出蒸發的水分進行真空干燥的泵可以使任何多孔或甚至類似粉末的物體均勻地從內部全干燥。
如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時候，熱量必然會被帶到真空泵上去，從而導致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。
加熱后的氣體被導向真空壓力表，真空壓力表就會產生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產生示值誤差。正確的使用真空干燥機，應該先抽真空再升溫加熱。待達到了額定溫度后如發現真空度有所下降時再適當加抽一下。
